Появился новый способ нанесения тонких слоев атомов

Возник новейший метод нанесения тонких слоев атомов. Его представили ученые из США (Соединённые Штаты Америки —

  • Исследователи из Института Алабамы представили новейший метод нанесения тонких слоев атомов в качестве покрытия на материал при температуре, близкой к комнатной. Ученые употребляли технологию ультразвуковой атомизации для испарения химикатов, применяемых в атомно-слоевом осаждении (ALD).

    «ALD — это способ нанесения трехмерных тонких пленок, который играет важную роль в производстве микроэлектроники, а именно, таковых частей, как центральные микропроцессоры, память и твердые диски», — отмечают ученые. Любой цикл ALD наносит слой глубиной в несколько атомов.

    В действиях ALD обычно употребляются нагретые молекулы в газовой фазе, которые испаряются из жесткой либо водянистой формы — приблизительно так же, как комнатные увлажнители, которые употребляют тепло для испарения воды. Но в этом процессе некие хим элементы нестабильны и могут распадаться до начала давления пара.

    Ученые делают самые тихие полупроводниковые квантовые биты

    «Ультразвуковое распыление, разработанное нашей исследовательской группой, дозволяет получать прекурсоры с низким давлением пара, так как испарение происходило из-за ультразвуковой вибрации модуля. Как и в случае с бытовым увлажнителем воздуха, ультразвуковое распыление делает туман, состоящий из насыщенного пара и микрокапель. Капли микронного размера безпрерывно испаряются и наносятся на поверхность материала», — отметили исследователи.

    В этом процессе употребляется ультразвуковой преобразователь, помещенный в водянистый хим прекурсор. Опосля пуска устройство начинает вибрировать со скоростью несколько сотен раз за секунду и делает туман из материала. Маленькие капли воды в тумане стремительно испаряются в газовом коллекторе под действием вакуума и мягенькой термообработки, оставляя опосля себя ровненький слой наносимого материала.

    Читать также

    Годичная миссия в Арктике завершилась, и данные неутешительны. Что ожидает население земли?

    Ученые узнали, почему малыши являются самыми небезопасными переносчиками COVID-19

    В США (Соединённые Штаты Америки — Источник